Kryogenní vývěvy
| Výrobce: | HSR |
Vakuum servis nabízí kryogenní vývěvy firmy HSR Vakuum GmbH, které jsou známé svou kvalitou a spolehlivosti.
Kryovývěvy HSR VELCO, s uzavřeným He cyklem, se svým principem řadí mezi sorpční vývěvy s vazbou plynu. Plyn tedy vývěvou neprochází, ale je vázán přímo na určitý prvek vývěvy s kryogenní teplotou až 10K. Využívány jsou zejména principy kryokondenzace, kryoadssorpce případně kryotraping. Vývěva je bezolejová a hlavní předností tohoto typu vývěvy je vysoká čerpací rychlost zejména provodní páru a nulové riziko kontaminace čerpaného prostoru. Kryovývěvou lze dosáhnout extrémně nízkých tlaků (na hranici E-10 hPa) a poměrně velkých čerpacích rychlostí. Čerpací rychlost kryovývěvy je dána počtem molekul dopadajících na jednotku plochy za jednotku času a je v řádu desítek litrů na každý cm² - podle druhu čerpaného plynu.
Kryovývěvy nejsou vhodné pro čerpání z atmosférického tlaku (musí se předčerpat primární vývěvou) a obtížně čerpají plyny jako je vodík, helium nebo neon. Proto firma HSR nabízí speciální verze pro čerpání těchto plynů.
Kryovývěvy se uplatňují zejména v technologii povlakování tenkými vrstvami, ve velkoobjemových aparaturách jako jsou simulační komory, v částicových urychlovačích apod.
Kryogenní vývěva neboli kryopumpa se skládá z kryovývěvy obsahující chladící hlavu s namontovanými chlazenými kryopanely a kryogenního He kompresoru.
Více informací
