Prodej
RGA 160 testovací systém
| Výrobce: | Vakuum servis |
RGA 160 testovací systém
- Univerzální testovací zařízení RGA (residual gas analysis) pro analýzu UHV komponent
- Kvantitatvní analýza odplynění uhlovodíků, vodní pára a dalších chemických látek dle požadavků zákazníka
- Měřící metoda je prováděna dle ASML standardu GSA 07 2221 s výstupním protokolem v pdf
- Plně automatizovaný měřící cyklus
- Možnost plazmatického čištění a vypékání před měřením
Technické parametry
- Bezolejový vakuový čerpací systém s turbomolekulární pumpou a primární vývěvou typu scroll
- UHV DN160 CF kubická vakuová komora
- Celokovové vakuové ventily
- Kvadrupolový hmotnostní spektrometr Pfeiffer Prisma Pro, rozsah hmot 0-200 amu, Faraday +C-SEM detektor, Y2O3 iridiové filamenty
- Kalibrační mix plynů
- Integrované vyhřívání až do 130°C
- Mezní tlak < 5x10-9 mbar (prázdná komora, po 24h vypékání)
- Minimální detekovatelná natékací rychlost 5x10-9 mbar.l.s-1 pro H2O; < 5x10-10 mbar.l.s-1 pro CxHy
- Rozměry 850x750 mm
Možnosti rozšíření:
- Zvětšení komory pro vzorky až do 40 litrů
- Samostatný čerpací systém pro hmotnostní spektrometr pro maximální stabilitu měření
- Plazmový čistič
