VSS Classic Evaporation and Sputtering System
| Výrobce: | Vakuum servis |
Vakuum Servis VSS Classic series
Univerzální vysokovakuový napařovací a naprašovací systém na míru s flexibilní technologií pro výrobu, výzkum a vývoj
Pokračování vývoje osvědčené řady systémů Pfeiffer Vacuum Classic
- Víceúčelový systém pro nanášení povlaků pro obecné vakuové experimenty v oblasti vývoje, a malosériovou výrobu
- Vyhřívatelné komory z nerezové oceli s objemy od 35 do 1300 l, vnitřní průměr 250 až 600 mm (jiný na vyžádání), možné i zvonové nádoby
- Napařování a naprašování z obou stran (naklápění vzorku)
- K dispozici jsou různé čerpací stanice (turbo-, kryo- nebo olejové difuzní vývěvy)
- Mezní tlak < 5 - 10-7 mbar Integrální těsnost < 1 - 10-5 mbar l/s
Dostupné zdroje:
- Odporové (2 - 6 kVA)
- S elektronovým svazkem (3 - 15 kW) s jedno- nebo vícenásobným kelímkem
- Zdroje iontového svazku (IAD)
- RF a DC naprašovací katody (0. 3 - 10 kW), 2" nebo 4"
Napařování:
Antireflexní vrstvy, vrstvy odolné proti poškrábání, laserová zrcadla, kontaktní metalizace, depozice slitin (co-evaporation)
Naprašování:
Vhodné pro vrstvy: Kovové vrstvy (Au, Cu, Al, Cr, ...), Dielektrické vrstvy (SiO2, Al2O3, ...), ... ) Transparentní vrstvy, vodivé vrstvy (ITO) Magnetické vrstvy, Nanášení slitin (co-sputtering)
K dispozici jsou různé čerpací stanice (je možné použít turbo-, kryo- nebo olejové difuzní vývěvy), Vakuové komory mohou být vybaveny chlazením nebo vyhřívaním. Mezní tlaky < 5 - 10-7 mbar
Natékací rychlost < 1 - 10-5 mbar l/s
Řídicí systém:
- PLC a průmyslové PC s vizualizací pod Windows, vzdálený přístup, připojení k MES
- Plně automatické řízení procesu s komplexní správou receptur
- Podrobný záznam dat (alarm a archiv procesů + trendy).
